消除象限光電探測(cè)器光電串?dāng)_的方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN02128025.8 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN1508875A | 公開(kāi)(公告)日 | 2004-06-30 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN1508875A | 申請(qǐng)公布日 | 2004-06-30 |
分類號(hào) | H01L27/14;H01L31/18 | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 朱華海 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 重慶科業(yè)光電有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 400060重慶市南岸區(qū)南坪花園路14號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種消除半導(dǎo)體象限光電探測(cè)器光電串?dāng)_的方法,用于無(wú)串?dāng)_象限光電探測(cè)器的制作,其特征在于:在半導(dǎo)體象限光電探測(cè)器象限光敏元之間設(shè)計(jì)、制作一獨(dú)立的與光敏元同結(jié)構(gòu)、同極性、同工藝條件、同時(shí)制作的隔離二極管,該隔離二極管與象元探測(cè)器有一公共電極,另有一獨(dú)立電極。二極管的管芯形狀可以是環(huán)形形狀,也可以是十字形狀,還可以是梳狀形狀,網(wǎng)狀形狀以及它們的各種組合形狀。應(yīng)用時(shí),該二極管經(jīng)接偏置電路后構(gòu)成短路連接,使產(chǎn)生的串?dāng)_光電流及該二極管因直接受光照射產(chǎn)生的光電流一同短路,而不進(jìn)鄰近的光敏元,從而消除光電串?dāng)_。應(yīng)用該方法制作的象限光電探測(cè)器與現(xiàn)有象限光電探測(cè)器相比,其象限光敏元之間的光電串?dāng)_完全被消除,探測(cè)靈敏度、制導(dǎo)、跟蹤測(cè)距等的精度以及可靠性等性能大為提高。 |
