消除象限光電探測器光電串?dāng)_的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN02128025.8 申請日 -
公開（公告）號 CN100517736C 公開（公告）日 2009-07-22
申請公布號 CN100517736C 申請公布日 2009-07-22
分類號 H01L27/14(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱華海 申請（專利權(quán)）人 重慶科業(yè)光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 400060重慶南坪金紫街126號2單元13-4（萬壽花園）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種消除半導(dǎo)體象限光電探測器光電串?dāng)_的方法，用于半導(dǎo)體無串?dāng)_象限光電探測器的制作。其特征在于：在半導(dǎo)體象限光電探測器各象限光敏元之間，用與象限光敏元同種摻雜類型雜質(zhì)、同工藝條件、同時(shí)制作一個(gè)獨(dú)立的隔離二極管。該隔離二極管與半導(dǎo)體象限光電探測器有一公共電極，另有一獨(dú)立電極。隔離二極管的管芯形狀根據(jù)半導(dǎo)體象限光電探測器管芯芯片的形狀而定，是成十字形狀，或梳狀形狀，或網(wǎng)狀形狀，或是它們的各種組合形狀。應(yīng)用時(shí)，該二極管經(jīng)接偏置電路后構(gòu)成短路連接，使產(chǎn)生的串?dāng)_光電流及該二極管因直接受光照產(chǎn)生的光電流一同短路，而不進(jìn)臨近的象限光敏元，從而消除光電串?dāng)_。應(yīng)用該方法制作的半導(dǎo)體象限光電探測器與現(xiàn)有半導(dǎo)體象限光電探測器相比，其象限光敏元之間的光電串?dāng)_完全被消除，探測靈敏度、制導(dǎo)、跟蹤、測距等的精度以及可靠性等性能大為提高。