長波平面型光電探測器微型球透鏡制作方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN02133929.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN1492245A | 公開（公告）日 | 2004-04-28 |
| 申請公布號 | CN1492245A | 申請公布日 | 2004-04-28 |
| 分類號 | G02B6/136;G02B6/42;H04B10/12 | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 朱華海 | 申請（專利權(quán)）人 | 重慶科業(yè)光電有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 400060重慶市南岸區(qū)南坪花園路14號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種長波平面型光電探測器微型球透鏡的制作方法，其特征在于：微型球透鏡是在光電探測器管芯光敏面的襯底面，采用Ar+離子束刻蝕的方法制作的。將此種微型球透鏡應(yīng)用于光電探測器管芯背照面，可提高小結(jié)面積光電探測器管芯同光纖的耦合效率，從而提高了光電探測器的耦合效率。 |
