一種晶圓蝕刻設(shè)備移動機構(gòu)密封裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921596150.8 申請日 -
公開（公告）號 CN210566232U 公開（公告）日 2020-05-19
申請公布號 CN210566232U 申請公布日 2020-05-19
分類號 F16J15/16 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 趙芹;陳利鋒;陳素榮;何婷婷;王福亮;何虎 申請（專利權(quán)）人 江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215000 江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)南湖路66號8幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型揭示了一種晶圓蝕刻設(shè)備移動機構(gòu)密封裝置，包括至少兩塊擋片，擋片相互層疊設(shè)置，位于最內(nèi)層的擋片與晶圓蝕刻設(shè)備的機殼外壁固定連接，每塊擋片上均設(shè)有條形孔，最內(nèi)層擋片上的條形孔長度不小于升降桿的移動距離，最外層擋片上的條形孔與升降桿的形狀適應(yīng)設(shè)置，各層擋片的長度以及擋片上條形孔的長度在由內(nèi)至外的方向上依次遞減，以使隨升降桿上下移動的過程中外層擋片始終完全遮擋相鄰內(nèi)層擋片上的條形孔，最內(nèi)層的擋片底部還固定設(shè)有承托片；除最內(nèi)層擋片外的所有擋片內(nèi)側(cè)面上均沿邊緣設(shè)有磁條，以使相鄰的擋片緊貼吸合。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低，具有占用空間小，無易損件，使用壽命長，運行平穩(wěn)，安裝方便的優(yōu)點。