一種晶圓化鍍設(shè)備多功能機械手

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921594975.6 申請日 -
公開（公告）號 CN210325747U 公開（公告）日 2020-04-14
申請公布號 CN210325747U 申請公布日 2020-04-14
分類號 H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳素榮;何婷婷;王福亮;何虎;趙芹;陳利鋒 申請（專利權(quán)）人 江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215000江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)南湖路66號8幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型揭示了一種晶圓化鍍設(shè)備多功能機械手，包括升降機構(gòu)、抓取動力機構(gòu)、兩根相互平行設(shè)置的橫桿、在橫桿上成對設(shè)置的抓鉤，升降機構(gòu)包括電機、絲杠、立管，抓取動力機構(gòu)包括底座，橫桿的后端可旋轉(zhuǎn)的穿設(shè)在底座上，橫桿的后端上固定連接有轉(zhuǎn)動塊，轉(zhuǎn)動塊上設(shè)有連接柱，兩轉(zhuǎn)動塊上的連接柱之間設(shè)有拉力彈簧，底座上設(shè)有氣缸、梯形塊，還包括防撞保護(hù)機構(gòu)、抓取檢測機構(gòu)。本實用新型的升降機構(gòu)、抓取動力機構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊，需要占用的安裝位置小，絲杠穿設(shè)在立管內(nèi)部，提高了機械手整體的強度，設(shè)有防撞保護(hù)機構(gòu)，可以減少機械手運行過程之中碰撞事故的發(fā)生概率，設(shè)有抓取檢測機構(gòu)，能夠減少重復(fù)抓取物料或漏抓物料造成的損失。??