一種晶圓化鍍?cè)O(shè)備多功能機(jī)械手
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921594975.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210325747U | 公開（公告）日 | 2020-04-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210325747U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-04-14 |
| 分類號(hào) | H01L21/687(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 陳素榮;何婷婷;王福亮;何虎;趙芹;陳利鋒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)南湖路66號(hào)8幢101室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型揭示了一種晶圓化鍍?cè)O(shè)備多功能機(jī)械手，包括升降機(jī)構(gòu)、抓取動(dòng)力機(jī)構(gòu)、兩根相互平行設(shè)置的橫桿、在橫桿上成對(duì)設(shè)置的抓鉤，升降機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、絲杠、立管，抓取動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括底座，橫桿的后端可旋轉(zhuǎn)的穿設(shè)在底座上，橫桿的后端上固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)塊，轉(zhuǎn)動(dòng)塊上設(shè)有連接柱，兩轉(zhuǎn)動(dòng)塊上的連接柱之間設(shè)有拉力彈簧，底座上設(shè)有氣缸、梯形塊，還包括防撞保護(hù)機(jī)構(gòu)、抓取檢測(cè)機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型的升降機(jī)構(gòu)、抓取動(dòng)力機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊，需要占用的安裝位置小，絲杠穿設(shè)在立管內(nèi)部，提高了機(jī)械手整體的強(qiáng)度，設(shè)有防撞保護(hù)機(jī)構(gòu)，可以減少機(jī)械手運(yùn)行過(guò)程之中碰撞事故的發(fā)生概率，設(shè)有抓取檢測(cè)機(jī)構(gòu)，能夠減少重復(fù)抓取物料或漏抓物料造成的損失。?? |
