硅芯料棒定位夾持機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020636079.8 申請日 -
公開（公告）號 CN212733309U 公開（公告）日 2021-03-19
申請公布號 CN212733309U 申請公布日 2021-03-19
分類號 H01L21/67(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 邵樹寶;王福亮;儲冬華;陳利鋒;趙芹;何婷婷;陳素榮 申請（專利權(quán)）人 江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 代理人 姚姣陽
地址 215000江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)南湖路66號8幢101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型揭示了一種硅芯料棒定位夾持機(jī)構(gòu)，包括一根用于構(gòu)成機(jī)構(gòu)主體的支撐圓管以及至少兩個(gè)嵌套設(shè)置于支撐圓管外周、用于完成對硅芯料棒定位夾持的固定組件；多個(gè)固定組件間平行且對稱設(shè)置；每個(gè)固定組件均包括一塊卡板主體以及多塊可活動(dòng)地設(shè)置于卡板主體周圍的活動(dòng)卡板，卡板主體與活動(dòng)卡板的邊沿位置均開設(shè)有卡齒，卡板主體與活動(dòng)卡板二者上的卡齒成對設(shè)置，每對卡齒相咬合形成一個(gè)閉合的料棒卡槽，在硅芯料棒的定位夾持狀態(tài)下、硅芯料棒被限位于料棒卡槽中。本實(shí)用新型以間隔式、卡扣式的形式完成了對硅芯料棒的夾持固定，保證了每根硅芯料棒均能夠與藥液充分接觸、腐蝕均勻，有效地提升了加工的良率。??