硅芯料棒定位夾持機構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020636079.8 申請日 -
公開（公告）號 CN212733309U 公開（公告）日 2021-03-19
申請公布號 CN212733309U 申請公布日 2021-03-19
分類號 H01L21/67(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 邵樹寶;王福亮;儲冬華;陳利鋒;趙芹;何婷婷;陳素榮 申請（專利權）人 江蘇芯夢半導體設備有限公司
代理機構 南京蘇科專利代理有限責任公司 代理人 姚姣陽
地址 215000江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)南湖路66號8幢101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型揭示了一種硅芯料棒定位夾持機構，包括一根用于構成機構主體的支撐圓管以及至少兩個嵌套設置于支撐圓管外周、用于完成對硅芯料棒定位夾持的固定組件；多個固定組件間平行且對稱設置；每個固定組件均包括一塊卡板主體以及多塊可活動地設置于卡板主體周圍的活動卡板，卡板主體與活動卡板的邊沿位置均開設有卡齒，卡板主體與活動卡板二者上的卡齒成對設置，每對卡齒相咬合形成一個閉合的料棒卡槽，在硅芯料棒的定位夾持狀態(tài)下、硅芯料棒被限位于料棒卡槽中。本實用新型以間隔式、卡扣式的形式完成了對硅芯料棒的夾持固定，保證了每根硅芯料棒均能夠與藥液充分接觸、腐蝕均勻，有效地提升了加工的良率。??