清洗機(jī)花籃運(yùn)送機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010331491.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111524831A | 公開（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111524831A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-11 |
| 分類號(hào) | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 邵樹寶;王福亮;儲(chǔ)冬華;陳利鋒;趙芹;何婷婷;陳素榮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)南湖路66號(hào)8幢101 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明揭示了一種清洗機(jī)花籃運(yùn)送機(jī)構(gòu)，包括一個(gè)用于承載待清洗晶圓片的花籃以及一個(gè)用于帶動(dòng)花籃進(jìn)行圓周方向擺動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件，還包括用于限制花籃垂直方向行程的垂直限位組件以及用于限制花籃水平方向行程的水平限位組件，水平限位組件與垂直限位組件二者活動(dòng)連接、花籃與垂直限位組件二者活動(dòng)連接；在水平限位組件與垂直限位組件二者的配合作用下，花籃在圓周方向的擺動(dòng)被分解和轉(zhuǎn)化為在水平、垂直兩個(gè)方向上的移動(dòng)。本發(fā)明通過(guò)增加水平和垂直兩個(gè)方向上的機(jī)械限位結(jié)構(gòu)，將擺臂擺動(dòng)過(guò)程中花籃的圓弧運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為兩個(gè)方向上的直線運(yùn)動(dòng)，從而改進(jìn)了機(jī)構(gòu)整體的機(jī)械關(guān)系，顯著地提升了機(jī)構(gòu)使用的穩(wěn)定性。?? |
