清洗機(jī)花籃驅(qū)動(dòng)裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020635257.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211719566U | 公開（公告）日 | 2020-10-20 |
| 申請公布號(hào) | CN211719566U | 申請公布日 | 2020-10-20 |
| 分類號(hào) | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 儲(chǔ)冬華;趙芹;邵樹寶;王福亮;陳利鋒;何婷婷;陳素榮 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)南湖路66號(hào)8幢101 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型揭示了一種清洗機(jī)花籃驅(qū)動(dòng)裝置，與清洗設(shè)備相匹配，包括用于承載待清洗晶圓片的花籃機(jī)構(gòu)，還包括用于帶動(dòng)花籃機(jī)構(gòu)進(jìn)行圓周方向搖動(dòng)的晃動(dòng)機(jī)構(gòu)以及用于帶動(dòng)花籃機(jī)構(gòu)進(jìn)行垂直方向上整體移動(dòng)的提升機(jī)構(gòu)；花籃機(jī)構(gòu)的設(shè)置位置與清洗設(shè)備的化學(xué)清洗槽的位置相匹配，花籃機(jī)構(gòu)與晃動(dòng)機(jī)構(gòu)間傳動(dòng)連接、并通過晃動(dòng)機(jī)構(gòu)與提升機(jī)構(gòu)間傳動(dòng)連接，提升機(jī)構(gòu)與清洗設(shè)備的上隔板固定連接。本實(shí)用新型通過良好的機(jī)械傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，減少了伺服電機(jī)的使用，降低了裝置局部的材料承載力的要求，在顯著提升裝置使用過程中的穩(wěn)定性的同時(shí)，還充分地控制了裝置整體的生產(chǎn)成本、減輕了加工企業(yè)的負(fù)擔(dān)。?? |
