清洗機花籃驅動裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020635257.5 申請日 -
公開（公告）號 CN211719566U 公開（公告）日 2020-10-20
申請公布號 CN211719566U 申請公布日 2020-10-20
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 儲冬華;趙芹;邵樹寶;王福亮;陳利鋒;何婷婷;陳素榮 申請（專利權）人 江蘇芯夢半導體設備有限公司
代理機構 南京蘇科專利代理有限責任公司 代理人 江蘇芯夢半導體設備有限公司
地址 215000江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)南湖路66號8幢101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型揭示了一種清洗機花籃驅動裝置，與清洗設備相匹配，包括用于承載待清洗晶圓片的花籃機構，還包括用于帶動花籃機構進行圓周方向搖動的晃動機構以及用于帶動花籃機構進行垂直方向上整體移動的提升機構；花籃機構的設置位置與清洗設備的化學清洗槽的位置相匹配，花籃機構與晃動機構間傳動連接、并通過晃動機構與提升機構間傳動連接，提升機構與清洗設備的上隔板固定連接。本實用新型通過良好的機械傳動結構，減少了伺服電機的使用，降低了裝置局部的材料承載力的要求，在顯著提升裝置使用過程中的穩(wěn)定性的同時，還充分地控制了裝置整體的生產成本、減輕了加工企業(yè)的負擔。??