晶圓片剝離裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010331526.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111403322A | 公開（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111403322A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-10 |
| 分類號(hào) | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 邵樹寶;王福亮;儲(chǔ)冬華;陳利鋒;趙芹;何婷婷;陳素榮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)南湖路66號(hào)8幢101 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明揭示了一種晶圓片剝離裝置，與外部設(shè)備框架固定連接，包括整體可活動(dòng)地設(shè)置于外部設(shè)備框架上、用于完成晶圓片剝離操作的剝離執(zhí)行機(jī)構(gòu)以及整體固定連接于外部設(shè)備框架上、用于完成晶圓片輸送的傳輸執(zhí)行機(jī)構(gòu)；剝離執(zhí)行機(jī)構(gòu)內(nèi)包括晶圓片吸取組件以及晶圓片翻轉(zhuǎn)組件；在晶圓片吸取組件及晶圓片翻轉(zhuǎn)組件的配合運(yùn)作下，外部晶圓片承托機(jī)構(gòu)上所承載的晶圓片被逐一剝離、移動(dòng)至傳輸執(zhí)行機(jī)構(gòu)上。本發(fā)明通過機(jī)械化、自動(dòng)化的方式，完成了晶圓片加工過程中的晶圓片剝離下料，在滿足操作要求的同時(shí)提升了操作的效率、節(jié)約了人力資源、減輕了加工企業(yè)的負(fù)擔(dān)。?? |
