晶圓片腐蝕清洗籠

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010332033.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111508873A 公開(kāi)（公告）日 2020-08-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN111508873A 申請(qǐng)公布日 2020-08-07
分類(lèi)號(hào) H01L21/67 分類(lèi) -
發(fā)明人 邵樹(shù)寶;王福亮;儲(chǔ)冬華;陳利鋒;趙芹;何婷婷;陳素榮 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇科專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 代理人 江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)南湖路66號(hào)8幢101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種晶圓片腐蝕清洗籠，包括籠體框架及驅(qū)動(dòng)組件兩部分組成；籠體框架由多塊晶圓片隔板及多根開(kāi)齒連接軸組成，多塊晶圓片隔板上均開(kāi)設(shè)有一條相同的滑動(dòng)限位槽，多塊晶圓片隔板間平行設(shè)置并連接形成一個(gè)整體，其中一根開(kāi)齒連接軸可活動(dòng)地按序依次穿設(shè)于多塊晶圓片隔板上的滑動(dòng)限位槽內(nèi)；驅(qū)動(dòng)組件包括至少一組傳動(dòng)齒輪組，每組傳動(dòng)齒輪組均包括一個(gè)主動(dòng)齒輪及多個(gè)從動(dòng)齒輪，每個(gè)從動(dòng)齒輪均固定設(shè)置于一根開(kāi)齒連接軸的端部，主動(dòng)齒輪與從動(dòng)齒輪間嚙合傳動(dòng)。本發(fā)明通過(guò)帶動(dòng)晶圓片整體旋轉(zhuǎn)的方式，完成了對(duì)晶圓片的腐蝕清洗，整個(gè)操作過(guò)程中晶圓片與藥液接觸充分，產(chǎn)品腐蝕均勻，有效避免了產(chǎn)品的二次返工、提升了產(chǎn)品的良率。