晶圓片腐蝕清洗籠

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010332033.1 申請日 -
公開（公告）號 CN111508873A 公開（公告）日 2020-08-07
申請公布號 CN111508873A 申請公布日 2020-08-07
分類號 H01L21/67 分類 -
發(fā)明人 邵樹寶;王福亮;儲冬華;陳利鋒;趙芹;何婷婷;陳素榮 申請（專利權）人 江蘇芯夢半導體設備有限公司
代理機構 南京蘇科專利代理有限責任公司 代理人 江蘇芯夢半導體設備有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)南湖路66號8幢101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種晶圓片腐蝕清洗籠，包括籠體框架及驅(qū)動組件兩部分組成；籠體框架由多塊晶圓片隔板及多根開齒連接軸組成，多塊晶圓片隔板上均開設有一條相同的滑動限位槽，多塊晶圓片隔板間平行設置并連接形成一個整體，其中一根開齒連接軸可活動地按序依次穿設于多塊晶圓片隔板上的滑動限位槽內(nèi)；驅(qū)動組件包括至少一組傳動齒輪組，每組傳動齒輪組均包括一個主動齒輪及多個從動齒輪，每個從動齒輪均固定設置于一根開齒連接軸的端部，主動齒輪與從動齒輪間嚙合傳動。本發(fā)明通過帶動晶圓片整體旋轉(zhuǎn)的方式，完成了對晶圓片的腐蝕清洗，整個操作過程中晶圓片與藥液接觸充分，產(chǎn)品腐蝕均勻，有效避免了產(chǎn)品的二次返工、提升了產(chǎn)品的良率。