一種半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110565279.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113231372A 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113231372A 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) B08B1/04（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/04（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 房玉林;楊軍;鄒琴 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇富樂德石英科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥錦輝利標(biāo)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳鑠
地址 224200江蘇省鹽城市東臺(tái)市城東新區(qū)鴻達(dá)路19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的洗凈方法，該方法具體包括下述步驟：步驟一：選取出需要進(jìn)行洗凈的產(chǎn)品，先用異丙醇來擦拭石英產(chǎn)品，除去粗的污染物和油脂；步驟二：在異丙醇擦拭后，通過沖洗裝置對(duì)產(chǎn)品表面進(jìn)行純水沖洗，確保產(chǎn)品無可視污染物；步驟三：通過純水沖洗后將產(chǎn)品放入洗凈槽，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行浸泡，浸泡時(shí)間控制30?50分鐘；步驟四：將在洗凈槽內(nèi)浸泡過后的產(chǎn)品取出，再進(jìn)行純水漂洗；本發(fā)明通過向下按動(dòng)推動(dòng)板，使得推動(dòng)板帶動(dòng)支撐桿向著遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)盤的方向運(yùn)動(dòng)，從而使得第一清洗頭與第二清洗頭之間的距離增加，將產(chǎn)品放入到?jīng)_洗槽內(nèi)，快速對(duì)產(chǎn)品本體進(jìn)行放置，節(jié)省清洗前準(zhǔn)備工作所消耗的時(shí)間，提高工作效率。