一種用于真空密封的石英產品的加工方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110634594.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113414890A 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN113414890A 申請公布日 2021-09-21
分類號 B28D5/04（2006.01）I;B24B7/22（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;C07C51/09（2006.01）I;C07C59/68（2006.01）I;C11D1/06（2006.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 鄒琴;楊軍;房玉林 申請（專利權）人 江蘇富樂德石英科技有限公司
代理機構 合肥錦輝利標專利代理事務所（普通合伙） 代理人 陳鑠
地址 224200江蘇省鹽城市東臺市城東新區(qū)鴻達路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于真空密封的石英產品的加工方法，涉及高純石英加工領域，通過將高純石英材料線切割、平面研磨、加工中心加工、平面研磨、加工中心加工及面拋光、脫脂洗凈、煮沸洗凈、超聲波洗凈、化學洗凈、包裝，得到的石英產品表面外觀狀態(tài)良好，石英產品的關鍵真空面得到有效保證，工藝路線簡單，尺寸精度高，可批量制造，能夠滿足目前半導體行業(yè)設備需求；該加工方法中通過將石英粗品放置于洗滌液中進行化學洗凈，洗滌液由洗滌助劑溶于水中制成，洗滌助劑的分子是一種四個苯環(huán)、三條疏水長鏈的分子結構，表面活性高，能夠將油脂、灰塵、金屬離子脫離石英粗品表面而進入水中，使得該石英產品表面洗滌的充分，潔凈度高。