一種半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的生產(chǎn)工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110565286.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113370405A 公開（公告）日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113370405A 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) B28D5/04（2006.01）I;B28D7/00（2006.01）I;B28D7/04（2006.01）I;B24B1/00（2006.01）I;B08B11/00（2006.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 楊軍;房玉林;鄒琴 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇富樂德石英科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥錦輝利標(biāo)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳鑠
地址 224200江蘇省鹽城市東臺(tái)市城東新區(qū)鴻達(dá)路19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，涉及半導(dǎo)體高純石英加工環(huán)領(lǐng)域，該生產(chǎn)工藝中使用的石英材料是高純石英母材，通過(guò)晶錠切割、水切割、平面研磨、MC加工、脫脂洗凈、化學(xué)洗凈、包裝，最終得到半導(dǎo)體級(jí)石英環(huán)，該生產(chǎn)工藝的優(yōu)點(diǎn)是工藝路線簡(jiǎn)單，石英加工制品尺寸精度高，表面洗凈潔凈度高，可批量制造，能夠滿足目前半導(dǎo)體行業(yè)需求；該生產(chǎn)工藝中通過(guò)使用晶錠切割設(shè)備對(duì)石英錠進(jìn)行晶錠切割，該晶錠切割設(shè)備通過(guò)限位座、夾持機(jī)構(gòu)將石英錠夾持，夾持穩(wěn)定性高，避免了石英錠在切割時(shí)晃動(dòng)導(dǎo)致切割不夠平整，保證了晶錠切割的精確度，也降低了石英錠原料的損耗，自動(dòng)化程度高，使用便捷。