一種真空封裝裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210012059.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114199416A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114199416A 申請公布日 2022-03-18
分類號 G01L1/00（2006.01）I;G01L19/00（2006.01）I;G01L21/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 吳廷兵;喻立川 申請（專利權(quán)）人 重慶四聯(lián)測控技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶百潤洪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 程宇
地址 401120重慶市北部新區(qū)黃山大道中段61號3號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及絕對壓力傳感器真空封裝裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種真空封裝裝置，包括機(jī)架、抽真空裝置、密封箱和控制裝置，所述密封箱的正面設(shè)置有密封門，所述密封箱內(nèi)設(shè)置有密封腔，所述密封腔內(nèi)設(shè)置有多組壓合結(jié)構(gòu)，所述密封箱的頂部設(shè)置有多個真空計，所述抽真空裝置用于給所述密封腔抽真空，真空計用于監(jiān)測密封腔內(nèi)的真空度；使用時，打開密封門將絕對壓力傳感器和鋼珠放入密封腔，關(guān)閉密封門，控制裝置通過控制抽真空裝置給密封腔的腔體內(nèi)抽真空，通過多個真空計時時檢測密封腔內(nèi)的真空度，通過壓合結(jié)構(gòu)將鋼珠壓合封裝到絕對壓力傳感器中；本發(fā)明真空封裝效果好，提高了絕對壓力傳感器的生產(chǎn)合格率，縮短了絕對壓力傳感器的生產(chǎn)周期。