一種等離子氣體產(chǎn)生系統(tǒng)、方法、存儲(chǔ)介質(zhì)及電子設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110122458.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112954876A 公開（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112954876A 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類號(hào) H05H1/46 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 胡雷 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州漢霄等離子體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州瞪羚知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張宇
地址 215000 江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)賢士路88號(hào)7幢802-C
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種等離子氣體產(chǎn)生系統(tǒng)、方法、存儲(chǔ)介質(zhì)及電子設(shè)備，包括：回路振蕩電路，與回路振蕩電路連接的升壓變壓器，與升壓變壓器連接的高壓硅堆，與高壓硅堆連接的第一槽振蕩回路，與第一槽振蕩回路連接的第二槽振蕩回路；回路振蕩電路用于將輸入的原始三相交流電壓進(jìn)行功率調(diào)節(jié)，得到低壓交流電壓；高壓硅堆用于將升壓交流電壓進(jìn)行整流，得到直流目標(biāo)電壓；第一槽振蕩回路用于根據(jù)反饋信號(hào)的柵極電流，對(duì)直流目標(biāo)電壓進(jìn)行頻率調(diào)節(jié)，得到第一槽振電壓；第二槽振蕩回路用于對(duì)第一槽振電壓進(jìn)行諧振處理，得到等離子產(chǎn)生電壓，等離子產(chǎn)生電壓用于對(duì)氣體進(jìn)行加熱。這樣，可以對(duì)氣體進(jìn)行感應(yīng)加熱，得到高溫高速等離子體。