一種射頻電源控制方法、裝置、存儲介質及電子設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110122460.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112947153A 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN112947153A 申請公布日 2021-06-11
分類號 G05B19/042;C23C16/505;B01J2/00 分類 控制；調節(jié);
發(fā)明人 胡雷 申請（專利權）人 蘇州漢霄等離子體科技有限公司
代理機構 蘇州瞪羚知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 張宇
地址 215000 江蘇省蘇州市常熟高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)賢士路88號7幢802-C
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種射頻電源控制方法、裝置、存儲介質及電子設備，包括：響應于操作人員對高頻感應等離子體制粉裝置的電源參數(shù)的輸入操作，確定射頻電源的輸入給定值；根據(jù)輸入給定值確定可編輯控制器輸出的模擬信號電流，并根據(jù)模擬信號電流調節(jié)可編輯控制器的控制參數(shù)；根據(jù)模擬信號得到預設電流大小的標準模擬信號；將標準模擬信號轉換為預設電壓大小的目標電壓，并經(jīng)分壓電阻分壓后輸送給電源輸出線圈；獲取高頻感應等離子體制粉裝置的目標參數(shù)，并根據(jù)目標參數(shù)調整輸入給定值以及控制參數(shù)。這樣，基于閉環(huán)控制，可以對輸出功率進行實時調節(jié)，并且嚴格隔離高壓系統(tǒng)，提高了高頻感應等離子體制粉裝置的安全性。