等離子體發(fā)生裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020779604.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211792197U | 公開（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申請公布號 | CN211792197U | 申請公布日 | 2020-10-27 |
| 分類號 | H05H1/34(2006.01)I | 分類 | 其他類目不包含的電技術(shù); |
| 發(fā)明人 | 張宜東;蔡瓏元;尹志堯 | 申請（專利權(quán)）人 | 中微惠創(chuàng)科技（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海元好知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 中微惠創(chuàng)科技（上海）有限公司 |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)竹柏路750號205室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種等離子體發(fā)生裝置包括：陰極組件，包括陰極；陽極組件，包括陽極筒和包圍陽極筒的陽極冷卻腔，所述陽極冷卻腔具有陽極冷卻入口，所述陽極冷卻入口用于向所述陽極冷卻腔內(nèi)輸送冷卻介質(zhì)，所述冷卻介質(zhì)用于對陽極筒進(jìn)行冷卻，所述陽極筒的底部與陽極冷卻腔之間通過螺紋連接，所述陽極筒與陰極之間形成等離子體發(fā)生空間。所述陽極筒與陽極冷卻腔之間的密封性較好。?? |
