用于等離子體發(fā)生裝置的陰極組件及其等離子體發(fā)生裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020779607.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212231792U | 公開（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212231792U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-25 |
| 分類號(hào) | H05H1/34(2006.01)I | 分類 | 其他類目不包含的電技術(shù); |
| 發(fā)明人 | 張宜東;蔡瓏元;尹志堯 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中微惠創(chuàng)科技（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海元好知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 中微惠創(chuàng)科技（上海）有限公司 |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)竹柏路750號(hào)205室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種用于等離子體發(fā)生裝置的陰極組件及其等離子體發(fā)生裝置，其中，陰極組件包括：陰極腔，包括陰極冷卻入口、陰極放置槽和安裝孔，安裝孔設(shè)于陰極放置槽的外圍，所述陰極冷卻入口用于向所述陰極腔內(nèi)輸送冷卻介質(zhì)，所述陰極放置槽用于放置陰極替換部；第一固定件，置于所述安裝孔內(nèi)與陰極腔之間可拆卸連接，用于固定所述陰極替換部。所述陰極組件的陰極能夠可拆卸，有利于降低陰極組件的更換成本。?? |
