等離子體發(fā)生裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020778076.8 申請日 -
公開（公告）號 CN211792195U 公開（公告）日 2020-10-27
申請公布號 CN211792195U 申請公布日 2020-10-27
分類號 H05H1/24(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 張宜東;蔡瓏元;尹志堯 申請（專利權(quán)）人 中微惠創(chuàng)科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海元好知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中微惠創(chuàng)科技（上海）有限公司
地址 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)竹柏路750號205室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種等離子體發(fā)生裝置包括：陰極組件，包括陰極；陽極組件，包括陽極筒和導(dǎo)磁筒，所述陽極筒包括第一區(qū)和第二區(qū)，所述陽極筒第一區(qū)的直徑大于第二區(qū)直徑，且所述第一區(qū)的中心到陰極底面的距離小于第二區(qū)的中心到陰極底面的距離，所述導(dǎo)磁筒環(huán)繞所述陽極筒的第二區(qū)的外部，所述導(dǎo)磁筒的內(nèi)徑小于所述陽極筒的第一區(qū)的外徑，所述導(dǎo)磁筒由若干個(gè)導(dǎo)磁部組成，每個(gè)所述導(dǎo)磁部內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)凹槽，所述凹槽用于放置導(dǎo)磁體，所述陽極筒與陰極之間形成等離子體發(fā)生空間。所述導(dǎo)磁體的材料在磁導(dǎo)率較小的情況下就能對等離子體有較強(qiáng)的約束能力。??