用于晶體生長(zhǎng)的檢測(cè)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201120246976.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN202170375U 公開(kāi)（公告）日 2012-03-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN202170375U 申請(qǐng)公布日 2012-03-21
分類(lèi)號(hào) C30B15/26(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 房志剛 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 常州江南電力光伏科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州市維益專(zhuān)利事務(wù)所 代理人 常州江南電力光伏科技有限公司
地址 213125 江蘇省常州市新北區(qū)漢江西路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于晶體生長(zhǎng)的檢測(cè)系統(tǒng)，圖像采集器能夠?qū)尉О襞c硅熔體液面相交形成的光圈圖像以及單晶棒的圖像信息進(jìn)行采集，并將其采集的信息經(jīng)過(guò)圖像分析處理單元處理后傳送至編程計(jì)算機(jī)，進(jìn)行提取光圈圖像中的圖像邊緣，得到光圈的橢圓形的像素坐標(biāo)圖，并將像素坐標(biāo)圖橢圓形的邊緣擬合成正圓，獲取該正圓中心點(diǎn)的像素坐標(biāo)位置，從而能夠獲取硅熔體液面高度數(shù)值和單晶棒直徑的數(shù)值，在獲取的數(shù)值與設(shè)定的不相符時(shí)，可編程控制器便會(huì)對(duì)晶體生長(zhǎng)的配套設(shè)備進(jìn)行操作，對(duì)晶體的生長(zhǎng)進(jìn)行糾正，從而保證晶體生長(zhǎng)質(zhì)量。