全自動硅單晶生長爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120243032.6 申請日 -
公開（公告）號 CN202175742U 公開（公告）日 2012-03-28
申請公布號 CN202175742U 申請公布日 2012-03-28
分類號 C30B15/20(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 房志剛 申請（專利權(quán)）人 常州江南電力光伏科技有限公司
代理機構(gòu) 常州市維益專利事務(wù)所 代理人 常州江南電力光伏科技有限公司
地址 213125 江蘇省常州市新北區(qū)漢江西路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種硅單晶生長爐，特別是一種全自動硅單晶生長爐，包括爐體、爐筒、循環(huán)冷卻水系統(tǒng)、提拉裝置、保護氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)；所述循環(huán)冷卻水系統(tǒng)設(shè)置在爐體外壁上；所述提拉裝置固定在爐體上方的爐筒內(nèi)；所述保護氣系統(tǒng)連接在爐體上；所述爐體內(nèi)設(shè)置單晶硅生長環(huán)境參數(shù)采集系統(tǒng)；所述循環(huán)冷卻水系統(tǒng)、保護氣系統(tǒng)、提拉裝置和單晶硅生長環(huán)境參數(shù)采集系統(tǒng)都與控制系統(tǒng)相連。采用上述結(jié)構(gòu)后，對硅單晶生長爐內(nèi)的環(huán)境參數(shù)進行實時監(jiān)控，通過控制系統(tǒng)來自動控制單晶硅棒的生長。