一種大功率射頻電源系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110292832.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113064368A 公開（公告）日 2021-07-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN113064368A 申請(qǐng)公布日 2021-07-02
分類號(hào) G05B19/042;H03F3/189;H03F1/30 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 陳操;陳海明;汪黃根;鄭煥生 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 科海技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京冠和權(quán)律師事務(wù)所 代理人 吳金水
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)福田街道福南社區(qū)福明路40號(hào)雷圳大廈東半層501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種大功率射頻電源系統(tǒng)。所述大功率射頻電源系統(tǒng)包括射頻信號(hào)發(fā)生模塊和射頻功能模塊，所述射頻信號(hào)發(fā)生模塊和射頻功能模塊之間進(jìn)行電連接。所述射頻信號(hào)發(fā)生模塊包括數(shù)字控制模塊、轉(zhuǎn)換模塊、第一V/I檢測(cè)模塊和射頻信號(hào)處理模塊；所述射頻功能模塊包括功率分配器、濾波式合成器、λ/4變換器模塊、隔離電阻模塊和第二V/I檢測(cè)模塊。所述大功率射頻電源系統(tǒng)還包括控制面板模塊、狀態(tài)顯示模塊、匹配通訊模塊、接口擴(kuò)展模塊、溫度檢測(cè)模塊、散熱模塊和電源模塊。