一種聲表面波濾波器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010310390.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111614342A 公開（公告）日 2020-09-01
申請公布號 CN111614342A 申請公布日 2020-09-01
分類號 H03H9/64(2006.01)I;H03H3/08(2006.01)I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 付琛;張嘯云;劉仁 申請（專利權）人 蘇州聲芯電子科技有限公司
代理機構 蘇州金項專利代理事務所（普通合伙） 代理人 張家港聲芯電子科技有限公司
地址 215600江蘇省蘇州市張家港高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)華夏科技園3號廠房北側底層張家港聲芯電子科技有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種聲表面波濾波器，包括壓電基底，壓電基底包括厚基底部和薄基底部，壓電基底的上表面設置有壓電薄膜層，壓電薄膜層上設置有至少一對叉指換能器，每一對叉指換能器均包括間隔輸入換能器和輸出換能器，輸入換能器和輸出換能器分別位于兩側的厚基底部并與厚基底部對應，薄基底部處于輸入換能器和輸出換能器之間。該濾波器利用了兩種聲波模式進行轉換，從而擴展了器件的工作帶寬。另外本發(fā)明還公開了濾波器的制作方法，利用磁控濺射工藝或晶圓鍵合結合機械拋光的方式在壓電基底表面制作壓電薄膜層，然后采用平面光刻工藝成型叉指換能器，最后進行深硅刻蝕完成薄基底部的成型。??