一種晶圓對(duì)準(zhǔn)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202220630490.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216980525U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216980525U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/68（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張鼎豐;閔源;劉瑤;龔家海 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 粵芯半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 510000廣東省廣州市黃埔區(qū)鳳凰五路28號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種晶圓對(duì)準(zhǔn)裝置，用于將帶有缺口的晶圓的轉(zhuǎn)動(dòng)至預(yù)設(shè)位置，所述晶圓對(duì)準(zhǔn)裝置包括：伯努利吸盤(pán)，用于吸附并帶動(dòng)所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)；若干圓周分布的墊塊，位于所述伯努利吸盤(pán)的吸附面上，且所述墊塊的頂面具有臺(tái)階，所述臺(tái)階的臺(tái)階面靠近所述伯努利吸盤(pán)的中心，所述晶圓放置于所述墊塊的臺(tái)階面上，所述墊塊限制所述晶圓在水平方向上的位移，有效防止當(dāng)所述伯努利吸盤(pán)帶動(dòng)所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)及停止轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述晶圓由于慣性及所述伯努利吸盤(pán)吸附不牢固而發(fā)生的位移，保證晶圓對(duì)準(zhǔn)的精度，提高產(chǎn)品的良率。 |
