水平調(diào)整工具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202220622648.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216972680U 公開(kāi)（公告）日 2022-07-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN216972680U 申請(qǐng)公布日 2022-07-15
分類號(hào) C23C16/52（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 曹紫然 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 粵芯半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 510000廣東省廣州市黃埔區(qū)鳳凰五路28號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種水平調(diào)整工具，包括位于所述反應(yīng)腔外的：水平調(diào)節(jié)架，與所述調(diào)節(jié)桿固定連接且與所述調(diào)節(jié)桿呈十字形分布；兩個(gè)調(diào)節(jié)組件，分別位于所述調(diào)節(jié)桿兩側(cè)，包括緊固件及彈性刻度件，所述緊固件穿過(guò)所述水平調(diào)節(jié)架并與所述反應(yīng)腔的外壁連接，所述彈性刻度件包括刻度尺及柔性指示標(biāo)，所述刻度尺固定于所述柔性指示標(biāo)上，所述柔性指示標(biāo)的兩端分別連接所述水平調(diào)節(jié)架及所述反應(yīng)腔的外壁，通過(guò)旋轉(zhuǎn)所述緊固件以改變所述水平調(diào)節(jié)架與所述反應(yīng)腔的距離，所述柔性指示標(biāo)相應(yīng)伸縮，所述柔性指示標(biāo)指向所述刻度尺的不同位置。本實(shí)用新型利于調(diào)整水平調(diào)節(jié)架的水平度。