一種生產(chǎn)泡沫鎳金屬化的濺射陰極靶材結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN03211969.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN2615146Y 公開（公告）日 2004-05-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN2615146Y 申請(qǐng)公布日 2004-05-12
分類號(hào) C23C14/34;C22C1/08 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王毓民;方彥忠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 愛藍(lán)天高新技術(shù)材料（沈陽(yáng)）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽(yáng)科威專利代理有限責(zé)任公司 代理人 于菲
地址 110179遼寧省沈陽(yáng)市沈陽(yáng)渾南開發(fā)區(qū)四季路22號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種生產(chǎn)泡沫鎳金屬化的濺射陰極靶材結(jié)構(gòu)，它包括靶體，在靶體的上面安裝有鎳靶材，其特征在于靶體的上面裝有隔板，隔板與靶體之間裝有密封圈，靶材放在隔板上，由多塊拼接而成，四周裝有壓板，壓板與靶體之間用螺栓固定。由于靶材設(shè)置在蝕刻區(qū)域內(nèi)，在濺射時(shí)，周邊的壓板沒有受到蝕刻，所以不用更換，這樣可以節(jié)省大量的鎳材料。其次是靶體與靶材之間裝有隔板，采用了間接水冷的方式，靶材不直接承受冷卻水的壓力，所以對(duì)于其致密性和強(qiáng)度的要求都大大降低，因此不僅可以使用軋制的鎳板，同時(shí)可以使用鑄造或電解鎳材，使生產(chǎn)的成本得到降低。