平膜硅壓阻式壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220567925.0 申請日 -
公開（公告）號 CN202886053U 公開（公告）日 2013-04-17
申請公布號 CN202886053U 申請公布日 2013-04-17
分類號 G01L9/06(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 高峰 申請（專利權(quán)）人 南京盛業(yè)達(dá)電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曾少麗
地址 211161 江蘇省南京市江寧濱江開發(fā)區(qū)春陽路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公布了一種平膜硅壓阻式壓力傳感器，包括平膜進(jìn)壓頭、銷子、擴(kuò)散硅敏感芯片和底座，還包括隔離膜片，其中隔離膜片與平膜進(jìn)壓頭之間設(shè)置第一油路，所述銷子上設(shè)置一條沿著銷子圓柱體中心線的凹槽作為第二油路。本實用新型降低了加工難度，減小了硅油的填充量，從而減少了硅油的損耗，進(jìn)而減少了成本、提高了可靠性、減小了受溫度的影響程度，而且傳感器量程可以做到很大。