真空鍍膜機腔體

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022109518.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213416999U 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN213416999U 申請公布日 2021-06-11
分類號 C23C14/32 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 熊凱;戶家周;張朋坤 申請（專利權）人 上海福宜真空設備有限公司
代理機構 上海裕創(chuàng)慧成知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 黃裕
地址 201821 上海市嘉定區(qū)招賢路778號4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種真空鍍膜機腔體，包括：腔體，腔體呈多邊形立方體；真空鍍膜機門，設置在腔體的一個立面上；平面陰極接口，若干個平面陰極接口設置在腔體的立面上；小弧源接口，若干個小弧源接口設置在腔體的立面上；旋轉多弧接口，若干個旋轉多弧接口設置在真空鍍膜機門上；主抽口；若干個主抽口設置在腔體的立面上。本實用新型提供一種多邊形的真空鍍膜機腔體，改變了圓筒型真空鍍膜機功能比較單一的技術問題，提高了真空鍍膜機腔體的功能。另外，相對于圓筒型真空鍍膜機，其功能件安裝面增加可安裝多種靶材，真空鍍膜機的功能增強，實現(xiàn)可鍍復雜膜層的技術功能。