一種大型真空鍍膜連續(xù)線腔體

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920091687.2 申請日 -
公開（公告）號 CN209669345U 公開（公告）日 2019-11-22
申請公布號 CN209669345U 申請公布日 2019-11-22
分類號 C23C14/56（2006.01） 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 熊凱; 楊元才; 褚景豫; 王慧峰; 錢鵬亮 申請（專利權）人 上海福宜真空設備有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 201821 上海市嘉定區(qū)招賢路778號4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種大型真空鍍膜連續(xù)線腔體，包括進樣室；中間閥門；第一緩沖室；鍍膜室；第二緩沖室；在進樣室的一端設置第一閥門；在進樣室的另一端與中間閥門的一端進行連接；中間閥門的中間設置密封閥板；在中間閥門的另一端連接第一緩沖室的一端，在第一緩沖室的另一端連接鍍膜室的一端；鍍膜室的另一端連接第二緩沖室的一端，第二緩沖室設置第二閥門；在本實用新型中的技術效果在于，大型真空鍍膜連續(xù)線腔體能夠被應用于真空鍍膜連續(xù)生產，滿足真空鍍膜連續(xù)生產對于鍍膜腔體的要求。