多弧離子鍍中靶材的安裝結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022100856.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213739647U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213739647U 申請公布日 2021-07-20
分類號 C23C14/32（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 楊元才;王慧峰;戶家周 申請（專利權(quán)）人 上海福宜真空設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海裕創(chuàng)慧成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃裕
地址 201821上海市嘉定區(qū)招賢路778號4幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種多弧離子鍍中靶材的安裝結(jié)構(gòu)，包括：水冷法蘭，設(shè)置在多弧離子鍍中靶材的安裝結(jié)構(gòu)的底部；封水板，覆蓋在水冷法蘭的上方；靶材，設(shè)置在封水板的上方；緊固法蘭，固定在水冷法蘭上方；鎖緊結(jié)構(gòu)，設(shè)置在緊固法蘭與靶材的結(jié)合處，同現(xiàn)有技術(shù)相比，在需要更換靶材的時候，利用鎖緊結(jié)構(gòu)，不再需要進(jìn)行螺栓拆卸和安裝，減少操作時間，提高工作效率。不會造成由于靶材更換頻繁，使得密封圈常常失效，導(dǎo)致密封失效，就需要重新拆開、重新安裝的技術(shù)問題出現(xiàn)，減少拆裝水冷法蘭、緊固法蘭、封水板之間的固定結(jié)構(gòu)，封水板可以做的很薄，減少了封水板的厚度，薄的封水板水冷效果更好，可以有效降低大顆粒的產(chǎn)生。