一種晶圓貼膜裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021734797.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212648193U | 公開（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申請公布號 | CN212648193U | 申請公布日 | 2021-03-02 |
| 分類號 | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 朱袁正;郭靖;朱久桃;李明芬;韓正華;張海城 | 申請（專利權(quán)）人 | 無錫電基集成科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 無錫市匯誠永信專利代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 曹慧萍 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)研發(fā)二路以南、研發(fā)一路以東 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種晶圓貼膜裝置，其可實現(xiàn)晶圓方向自動調(diào)整，便于后續(xù)加工工序進行，同時可實現(xiàn)自動貼膜，省時省力，可提高生產(chǎn)效率，其包括貼膜臺、切膜機構(gòu)、拉膜機構(gòu)、壓模機構(gòu)，貼膜臺的中部設置有用于放置晶圓的可旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)盤，切膜機構(gòu)包括用于膜切割的切刀，拉膜機構(gòu)包括新膜滾輪、廢膜滾輪、支撐滾輪，膜的兩端分別卷繞于新膜滾輪、廢膜滾輪，膜的中部在支撐滾輪支撐作用下沿晶圓的頂端傳動，壓模機構(gòu)包括壓模滾輪，壓模滾輪用于將膜貼裝于晶圓的背面，其還包括定位裝置、轉(zhuǎn)盤驅(qū)動裝置、控制器，定位裝置包括與轉(zhuǎn)盤對應的圖像采集裝置，圖像采集裝置、轉(zhuǎn)盤驅(qū)動裝置與控制器電連接。?? |
