一種用于半導(dǎo)體測(cè)試分選機(jī)的激光打標(biāo)粉塵收集裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201922470822.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN211488989U 公開(公告)日 2020-09-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN211488989U 申請(qǐng)公布日 2020-09-15
分類號(hào) B08B15/02(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 朱袁正;占四兵;朱久桃;王效勇 申請(qǐng)(專利權(quán))人 無錫電基集成科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市匯誠(chéng)永信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 朱曉林
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)研發(fā)二路以南、研發(fā)一路以東
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種用于半導(dǎo)體測(cè)試分選機(jī)的激光打標(biāo)粉塵收集裝置,包括吸塵組件和集塵組件,所述吸塵組件包括吸塵腔體及其支架,所述吸塵腔體右側(cè)面下部設(shè)有真空接口,頂面上設(shè)有開口,底面上設(shè)有吸塵口,所述開口上設(shè)有透明密封蓋,所述吸塵腔體內(nèi)設(shè)有吸塵管路和真空管路;所述集塵組件包括相匹配的蓋板和箱體,箱體的左側(cè)面上設(shè)有進(jìn)氣口,右側(cè)面上設(shè)有出氣口,箱體內(nèi)部位于進(jìn)氣口與出氣口之間的相對(duì)的兩個(gè)側(cè)面上設(shè)有相對(duì)的插槽,插槽用于鑲嵌初效過濾器;本案利用工廠裕度較大的真空動(dòng)力作為吸塵動(dòng)力源且吸塵口與加工界面貼合,能夠最大限度地減少粉塵的擴(kuò)散和蔓延,不僅除塵效果好,而且降低了除塵成本和除塵能耗。??