一種用于半導體測試分選機的激光打標粉塵收集裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922470822.7 申請日 -
公開（公告）號 CN211488989U 公開（公告）日 2020-09-15
申請公布號 CN211488989U 申請公布日 2020-09-15
分類號 B08B15/02(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 朱袁正;占四兵;朱久桃;王效勇 申請（專利權）人 無錫電基集成科技有限公司
代理機構 無錫市匯誠永信專利代理事務所（普通合伙） 代理人 朱曉林
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)研發(fā)二路以南、研發(fā)一路以東
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及半導體設備技術領域，尤其涉及一種用于半導體測試分選機的激光打標粉塵收集裝置，包括吸塵組件和集塵組件，所述吸塵組件包括吸塵腔體及其支架，所述吸塵腔體右側面下部設有真空接口，頂面上設有開口，底面上設有吸塵口，所述開口上設有透明密封蓋，所述吸塵腔體內設有吸塵管路和真空管路；所述集塵組件包括相匹配的蓋板和箱體，箱體的左側面上設有進氣口，右側面上設有出氣口，箱體內部位于進氣口與出氣口之間的相對的兩個側面上設有相對的插槽，插槽用于鑲嵌初效過濾器；本案利用工廠裕度較大的真空動力作為吸塵動力源且吸塵口與加工界面貼合，能夠最大限度地減少粉塵的擴散和蔓延，不僅除塵效果好，而且降低了除塵成本和除塵能耗。??