一種天然多糖改性樹脂及其制備方法和應(yīng)用、光刻膠

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011642781.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112778437A 公開（公告）日 2021-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112778437A 申請(qǐng)公布日 2021-05-11
分類號(hào) C08B37/02;C08B31/00;C08B37/08;C08B37/16;G03F7/004 分類 有機(jī)高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 李海波;李冰;李杰;楊謙;陳昕;王文芳;董棟;張寧 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京科華微電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 余菲
地址 101312 北京市順義區(qū)竺園路4號(hào)(天竺綜合保稅區(qū))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N天然多糖改性樹脂及其制備方法和應(yīng)用、光刻膠，屬于半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域。天然多糖改性樹脂以天然多糖為主鏈結(jié)構(gòu)，以帶有酯類保護(hù)基團(tuán)的氨基甲酸酯極性基團(tuán)部分或全部取代天然多糖結(jié)構(gòu)中的羥基中的氫原子，能夠提高以天然多糖改性樹脂作為基體樹脂在光刻膠常用酯類溶劑中的溶解度，酯類保護(hù)基團(tuán)能夠在光酸的催化下脫保護(hù)，形成羧酸，使得天然多糖改性樹脂溶于堿性顯影液中。同時(shí)，天然多糖結(jié)構(gòu)中的羥基中的氫原子部分或全部被帶有酯類保護(hù)基團(tuán)的氨基甲酸酯極性基團(tuán)取代后，使得天然多糖改性樹脂的側(cè)鏈具有氨基甲酸酯極性基團(tuán)，從而改善以天然多糖改性樹脂作為基體樹脂制成的光刻膠與基片的粘附性。