一種酚類化合物以及制備方法和應(yīng)用、光刻膠

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110409013.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113105330A 公開（公告）日 2021-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN113105330A 申請(qǐng)公布日 2021-07-13
分類號(hào) C07C69/96（2006.01）I;C07C68/06（2020.01）I;C07C43/303（2006.01）I;C07C41/54（2006.01）I;C07C68/00（2020.01）I;G03F7/004（2006.01）I 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 張咪;李冰;刁翠梅;于曉偉;陳昕;王文芳;董棟;張寧 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京科華微電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 余菲
地址 101312北京市順義區(qū)竺園路4號(hào)（天竺綜合保稅區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N酚類化合物以及制備方法和應(yīng)用、光刻膠，屬于光刻技術(shù)領(lǐng)域。本申請(qǐng)的酚類化合物能夠?qū)饪棠z的分辨率進(jìn)行改善，同時(shí)使得光刻膠具有較好的光刻性能，具體表現(xiàn)為較好的感光度、更大的對(duì)比度、側(cè)壁角較垂直的形貌及更大的工藝窗口。光刻膠包括10～30wt％酚醛樹脂、2～10wt％重氮萘醌感光劑、0.1～5wt％流平劑、40～80wt％溶劑和0.1～10wt％酚類化合物。