硝基苯甲醇磺酸酯化合物作為增速劑在光刻膠中的應(yīng)用、用于制備光刻膠的組合物
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011643470.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112799280A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-05-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112799280A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-14 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/022;G03F7/023;C07C309/66;C07C309/65 | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 孫嘉;李冰;馬潔;陳昕;王文芳;董棟;張寧 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京科華微電子材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡宏宇專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 余菲 |
| 地址 | 101312 北京市順義區(qū)竺園路4號(hào)（天竺綜合保稅區(qū)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)?zhí)峁┫趸郊状蓟撬狨セ衔镒鳛樵鏊賱┰诠饪棠z中的應(yīng)用、用于制備光刻膠的組合物，屬于半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域。硝基苯甲醇磺酸酯化合物在受熱后會(huì)分解產(chǎn)生路易斯質(zhì)子酸，使其能夠作為增速劑添加到酚醛樹(shù)脂?重氮奈醌型光刻膠和化學(xué)放大光刻膠中，提升光刻膠的感光速度，光刻膠的感光能力提升20％以上。在酚醛樹(shù)脂?重氮奈醌型光刻膠中，增速劑能夠在膠膜底部釋放的相對(duì)濃度更高的路易斯質(zhì)子酸，從而彌補(bǔ)了膠膜底部生成的茚酸不足的缺陷，幫助樹(shù)脂在膠膜底部快速溶解。在化學(xué)放大光刻膠中，增速劑和產(chǎn)酸劑協(xié)同作用在曝光區(qū)域沿著膠膜厚度縱向方向產(chǎn)生良好的路易斯質(zhì)子酸環(huán)境，從而提升光刻膠感光速度和消除圖形不垂直等形貌缺陷。 |
