一種用于CVD碳氣相沉積的回轉(zhuǎn)爐碳陶爐管、回轉(zhuǎn)爐及碳陶爐管的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110677117.3 申請日 -
公開(公告)號 CN113416086A 公開(公告)日 2021-09-21
申請公布號 CN113416086A 申請公布日 2021-09-21
分類號 C04B35/83(2006.01)I;C04B35/52(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I 分類 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 易旭;廖寄喬 申請(專利權(quán))人 湖南金硅科技有限公司
代理機構(gòu) 長沙市融智專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 張偉
地址 413000湖南省益陽市益陽高新開發(fā)區(qū)東部產(chǎn)業(yè)園孵化樓25層2503號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于CVD碳氣相沉積的回轉(zhuǎn)爐碳陶爐管、回轉(zhuǎn)爐及碳陶爐管的制備方法。碳陶爐管的制備方法為:以多層碳纖維無緯布和碳纖維網(wǎng)胎交替疊加,針刺復(fù)合形成管狀結(jié)構(gòu),管狀結(jié)構(gòu)經(jīng)過熱固化處理及化學(xué)氣相沉積后,得到爐管坯體;將坯體進行機加工,得到精加工爐管坯體;將精加工爐管坯體進行熔融滲硅處理和碳化硅化處理,即得碳陶爐管。該碳陶爐管具有密度低、耐磨損、強度高、抗氧化、無熱衰退等優(yōu)點,特別是不會與氫氣及碳氫有機氣體發(fā)生反應(yīng)而產(chǎn)生氫脆腐蝕破裂,能夠避免硅基負極材料加工過程中引入金屬雜質(zhì),可廣泛應(yīng)用于CVD碳氣相沉積、包覆,氨分解氫等各種工藝的高溫爐管。