一種體聲波濾波器裝置及提升帶外抑制的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110619580.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113411069A 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN113411069A 申請公布日 2021-09-17
分類號 H03H9/56（2006.01）I;H03H9/10（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 雷強;楊濤;董元旦;馬增紅;許夏茜;漆丹 申請（專利權）人 成都頻岢微電子有限公司
代理機構 成都拓荒者知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 楊爭華
地址 611730四川省成都市郫都區(qū)德源鎮(zhèn)（菁蓉鎮(zhèn)）田壩東街6號4樓401室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種體聲波濾波器裝置及提升帶外抑制的方法，其中，體聲波濾波器裝置包括基板、保護帽晶圓以及濾波器晶圓，所述濾波器晶圓上設置有薄膜體聲波濾波器，所述薄膜體聲波濾波器的外圍形成有金屬密封環(huán)，金屬密封環(huán)通過保護帽晶圓的金屬化過孔以倒裝焊的方式與基板的接地平面連接。進一步的，將濾波器中的并聯(lián)諧振臂對應連接金屬層上的一個電感后與接地金屬連接，且相鄰兩個電感之間均通過接地金屬相隔開。本發(fā)明提供的體聲波濾波器以及提升帶外抑制的方法，在不增加濾波器級數(shù)以及結構復雜度的情況下，提升了濾波器的帶外抑制，且未造成濾波器插損的惡化，同時更有利于濾波器小型化的設計。