參考氣室、帶參考氣室的光電探測器及其制備方法和設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811550051.6 申請日 -
公開(公告)號 CN109781659A 公開(公告)日 2019-05-21
申請公布號 CN109781659A 申請公布日 2019-05-21
分類號 G01N21/39(2006.01)I; H01L31/0203(2014.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 宋子毅; 蘆稷臣 申請(專利權(quán))人 武漢市翎風光電科技有限公司
代理機構(gòu) 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 武漢市翎風光電科技有限公司;宋子毅
地址 430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)流芳園南路18號光電工業(yè)園產(chǎn)業(yè)大樓905室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及參考氣室、帶參考氣室的光電探測器及其制備方法和設(shè)備,帶參考氣室的光電探測器包括光電探測器本體,光電探測器本體內(nèi)設(shè)有參考氣室,參考氣室內(nèi)填充有被測氣體,且參考氣室通過焊料的加熱融化焊接方式密封;焊料包括金屬焊料、合金焊料、玻璃焊料和陶瓷焊料的至少一種;加熱融化焊接方式包括脈沖加熱方式、恒溫加熱方式、氣體加熱方式和激光加熱方式中的至少一種。本發(fā)明能對參考氣室內(nèi)的被測氣體進行檢測,對系統(tǒng)中激光器波長進行實時較準;光電探測器自帶參考氣室,提高了整體集成度,降低了成本,采用焊料加熱融化焊接方式對參考氣室進行密封,氣密性大大提高,使用壽命大大延長,適用于不同氣體的激光濃度檢測儀。