一種公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)平臺(tái)及真空化學(xué)反應(yīng)腔體

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120154158.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214810725U 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN214810725U 申請公布日 2021-11-23
分類號 B01J19/00（2006.01）I;B01J19/28（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 鄧必龍;張向東 申請（專利權(quán)）人 龍鱗（深圳）新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 潘登
地址 518000廣東省深圳市坪山區(qū)坪山街道六聯(lián)社區(qū)坪山大道2007號創(chuàng)新廣場裙樓202
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)平臺(tái)及真空化學(xué)反應(yīng)腔體，屬于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型的公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)平臺(tái)，將自轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)組件安裝在公轉(zhuǎn)臺(tái)底部的安裝空間內(nèi)，進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中齒輪組至少設(shè)置兩層，體積龐大的問題，具有結(jié)構(gòu)緊湊，承載能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)。在公轉(zhuǎn)臺(tái)的中心開設(shè)第一避讓通孔，用于安裝射頻電極組件，進(jìn)而在公轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)時(shí)不干涉射頻電極組件，改善了射頻電極組件導(dǎo)電連接問題。本實(shí)用新型的真空化學(xué)反應(yīng)腔體，通過應(yīng)用上述公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)平臺(tái)，還提高了真空環(huán)境利用率。