一種化學(xué)氣相沉積防水鍍膜裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111268590.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114000126A 公開（公告）日 2022-02-01
申請公布號 CN114000126A 申請公布日 2022-02-01
分類號 C23C16/509（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鄭利勇;鄧必龍 申請（專利權(quán)）人 龍鱗（深圳）新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 潘登
地址 518122廣東省深圳市坪山區(qū)錦繡東路22號A棟402
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種化學(xué)氣相沉積防水鍍膜裝置，包括腔室、水平位鍍膜組件、垂直位鍍膜組件、射頻饋入裝置及電源；水平位鍍膜組件和垂直位鍍膜組件設(shè)置于腔室內(nèi)，且水平位鍍膜組件和垂直位鍍膜組件并聯(lián)后與射頻饋入裝置連接，電源與射頻饋入裝置連接。以此結(jié)構(gòu)設(shè)置的化學(xué)氣相沉積防水鍍膜裝置，能夠通過射頻饋入裝置的切換，方便靈活的實現(xiàn)水平位鍍膜組件和垂直位鍍膜組件的單獨作業(yè)或混合組合，繼而滿足工件進行化學(xué)氣相沉積時的多種工作需求，且操作方便，省時省力。