一種半導(dǎo)體加工模塊的故障響應(yīng)方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910106368.9 申請日 -
公開（公告）號 CN109685398A 公開（公告）日 2019-04-26
申請公布號 CN109685398A 申請公布日 2019-04-26
分類號 G06Q10/06 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 李杰;劉斌;喬巖;郭宇翔;宋泰然;李倓;曹健 申請（專利權(quán)）人 ?？怂构I(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市創(chuàng)富知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 曾敬
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道高新區(qū)社區(qū)高新南九道6號深圳灣科技生態(tài)園6棟701
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體加工模塊的故障響應(yīng)方法及系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，用于在滿足晶圓駐留時(shí)間約束的情況下，組合設(shè)備在經(jīng)歷一個(gè)瞬態(tài)的過程后繼續(xù)工作，解決了晶圓加工效率低下的問題，其包括：獲取組合設(shè)備在穩(wěn)定狀態(tài)下的穩(wěn)定調(diào)度方法；根據(jù)穩(wěn)定調(diào)度方法對加工模塊發(fā)生故障時(shí)的組合設(shè)備的調(diào)度進(jìn)行及時(shí)性分析，得到及時(shí)性分析結(jié)果；根據(jù)及時(shí)性分析結(jié)果及晶圓駐留時(shí)間約束為組合設(shè)備重新安排可行調(diào)度方法；將可行調(diào)度方法傳輸至機(jī)器人處，機(jī)器人根據(jù)可行調(diào)度方法對組合設(shè)備的加工模塊進(jìn)行及時(shí)性調(diào)度，從而使得組合設(shè)備在經(jīng)歷故障前及故障后的周期調(diào)度這樣一個(gè)瞬態(tài)過程后，仍能夠繼續(xù)正常工作，使晶圓的加工不會(huì)中斷，提高了晶圓的加工效率。