石英晶體籽晶片腐蝕控制裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820690805.7 申請日 -
公開(公告)號 CN208293120U 公開(公告)日 2018-12-28
申請公布號 CN208293120U 申請公布日 2018-12-28
分類號 C30B33/10 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 劉盛浦;王曉剛;易際讓 申請(專利權(quán))人 山東博達光電有限公司
代理機構(gòu) 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 代理人 金祺
地址 271500 山東省泰安市東平縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種石英晶體籽晶片腐蝕控制裝置,包括腐蝕箱和與電機連接的轉(zhuǎn)軸,腐蝕箱位于轉(zhuǎn)軸正下方,腐蝕箱包括箱體和與箱體配合使用的箱蓋,箱蓋上設(shè)置有通孔,箱體中放置有腐蝕筐,轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有可伸縮的牽引桿,牽引桿上設(shè)置有牽引線,牽引線穿過通孔與腐蝕筐固定連接。本實用新型改變了石英晶體籽晶片表面腐蝕的傳統(tǒng)操作,腐蝕溶液與籽晶片的對流,加快了籽晶片腐蝕質(zhì)量和速度,石英晶體籽晶片表面腐蝕更加均勻,提高了生產(chǎn)效率。