人造石英晶體籽晶片的腐蝕裝置及腐蝕方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811207903.1 申請日 -
公開（公告）號 CN109371456B 公開（公告）日 2021-01-08
申請公布號 CN109371456B 申請公布日 2021-01-08
分類號 C30B7/10;C30B29/18;C30B33/10 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 劉德輝;易際讓 申請（專利權(quán)）人 山東博達光電有限公司
代理機構(gòu) 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 代理人 金祺
地址 271500 山東省泰安市東平縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種石英晶體籽晶片腐蝕控制裝置：包括籽晶片腐蝕主體機架、腐蝕箱和水浴箱，籽晶片腐蝕主體機架上設(shè)置有定時器和帶有電機的轉(zhuǎn)軸，定時器與轉(zhuǎn)軸連接，轉(zhuǎn)軸上固定設(shè)置有牽引桿；牽引桿上設(shè)置有可自由轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)輪，轉(zhuǎn)輪上固定設(shè)置有牽引線，腐蝕箱頂部設(shè)置有牽引通孔和通氣管孔，腐蝕箱放置在水浴箱中，牽引線依次穿過限位孔和牽引通孔后與提繩固定連接；本發(fā)明還提供一種石英晶體籽晶片腐蝕方法，人造石英晶體籽晶片在腐蝕液中往復運動；本發(fā)明強調(diào)了腐蝕液體的溫度控制，有效的控制了腐蝕液的過飽和度，從腐蝕液濃度保障了勻速腐蝕。