光學(xué)石英晶體的電擴散處理法及所用的夾持器組件
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201710745240.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN107400930A | 公開(公告)日 | 2017-11-28 |
申請公布號 | CN107400930A | 申請公布日 | 2017-11-28 |
分類號 | C30B33/04(2006.01)I;C30B29/18(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 劉盛浦;易際讓;黃玲香;劉盛漲 | 申請(專利權(quán))人 | 山東博達光電有限公司 |
代理機構(gòu) | 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 金祺 |
地址 | 271500 山東省泰安市東平縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種光學(xué)石英晶體的電擴散方法,包括以下步驟:對于待電擴散處理的光學(xué)石英晶體的上、下表面均進行光潔度和平行度的處理,再進行清潔處理,然后放入夾持器組件中進行電擴散:先以1500±100V/cm計算施加直流電場強度后打開直流高壓電場,然后以每小時40±5℃的速率升溫至恒溫溫度后保溫12±1小時,再以每小時40±5℃的速率降溫至室溫時關(guān)斷直流高壓電場;所述恒溫溫度為520~570℃。本發(fā)明還同時公開了上述夾持器組件。 |
