一種制作微流道的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711499328.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109991818A 公開（公告）日 2019-07-09
申請公布號 CN109991818A 申請公布日 2019-07-09
分類號 G03F7/20;G03F1/00 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 孫雷 申請（專利權）人 北京德瑞工貿有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 100083 北京市朝陽區(qū)雙井九龍花園5號樓A座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種制作微流道芯片的方法。該方法包含：平行紫外光透過掩模板照射到成型基板，其中成型基板浸入光敏樹脂中或者覆蓋在光敏樹脂表面，通過控制紫外光輻照時間和角度，光敏樹脂種類，掩模板圖案等得到所需的微流控芯片。該方便具有操作簡單，傳成型快速等特點。