真空樣品驅(qū)動(dòng)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120139045.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214269374U 公開（公告）日 2021-09-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN214269374U 申請(qǐng)公布日 2021-09-24
分類號(hào) B65G54/02（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 樓廈;倪健;薛聰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 埃特曼半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 薛嬌
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)招商街道文竹園社區(qū)荔園路51源華綜合樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種真空樣品驅(qū)動(dòng)裝置，包括設(shè)置于真空腔室內(nèi)并和樣品承載臺(tái)相連接的第一磁性部件；設(shè)置于真空腔室外的第二磁性部件；第二磁性部件和第一磁性部件之間通過磁場(chǎng)力相互磁耦合，且第一磁性部件和第二磁性部件之間的真空腔室的腔壁為一體結(jié)構(gòu)；第二磁性部件為對(duì)第一磁性部件施加的磁場(chǎng)力可調(diào)的磁性件；當(dāng)?shù)谝淮判圆考艿诙判圆考拇艌?chǎng)力變化時(shí)，第一磁性部件受變化的磁場(chǎng)力驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)樣品承載臺(tái)移動(dòng)，以驅(qū)動(dòng)樣品承載臺(tái)上的樣品移動(dòng)到設(shè)定位置。本申請(qǐng)所提供的真空環(huán)境中的樣品轉(zhuǎn)運(yùn)的裝置，不需要將驅(qū)動(dòng)電機(jī)、軸承等驅(qū)動(dòng)設(shè)備封裝于真空環(huán)境中，提高真空腔室的密封性和真空環(huán)境的潔凈度。