真空樣品驅(qū)動裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110069780.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112758696A 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN112758696A 申請公布日 2021-05-07
分類號 B65G54/02(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 樓廈;倪健;薛聰 申請（專利權(quán)）人 埃特曼半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 薛嬌
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)招商街道文竹園社區(qū)荔園路51源華綜合樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種真空樣品驅(qū)動裝置，包括設(shè)置于真空腔室內(nèi)并和樣品承載臺相連接的第一磁性部件；設(shè)置于真空腔室外的第二磁性部件；第二磁性部件和第一磁性部件之間通過磁場力相互磁耦合，且第一磁性部件和第二磁性部件之間的真空腔室的腔壁為一體結(jié)構(gòu)；第二磁性部件為對第一磁性部件施加的磁場力可調(diào)的磁性件；當(dāng)?shù)谝淮判圆考艿诙判圆考拇艌隽ψ兓瘯r，第一磁性部件受變化的磁場力驅(qū)動帶動樣品承載臺移動，以驅(qū)動樣品承載臺上的樣品移動到設(shè)定位置。本申請所提供的真空環(huán)境中的樣品轉(zhuǎn)運的裝置，不需要將驅(qū)動電機(jī)、軸承等驅(qū)動設(shè)備封裝于真空環(huán)境中，提高真空腔室的密封性和真空環(huán)境的潔凈度。??