微機(jī)械傳感裝置電特性檢測(cè)分析系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910081621.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101515010B 公開(kāi)（公告）日 2011-11-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN101515010B 申請(qǐng)公布日 2011-11-30
分類(lèi)號(hào) G01R31/00(2006.01)I;G01R27/26(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 薛曉軍;李榮寬;陳慶;許秋玲 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京匯眾恒電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京雙收知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京匯眾恒電子技術(shù)有限公司;嘉興市納杰微電子技術(shù)有限公司
地址 100083 北京市海淀區(qū)花園東路8號(hào)北18樓1門(mén)064號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種微機(jī)械傳感裝置電特性檢測(cè)分析系統(tǒng)及方法，包括用于檢測(cè)相應(yīng)差分電容、上端電容、下端電容、寄生電容和可變電壓調(diào)整線性度以及溫度信息并轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)輸出的前端檢測(cè)裝置，用于發(fā)送測(cè)試指令給所述前端檢測(cè)裝置，令所述前端檢測(cè)裝置檢測(cè)，將所述前端檢測(cè)裝置傳遞來(lái)的數(shù)字信號(hào)進(jìn)行處理，并將結(jié)果存儲(chǔ)、顯示并發(fā)送出去的數(shù)據(jù)處理裝置和用于發(fā)送開(kāi)始指令到所述數(shù)據(jù)處理裝置，令所述數(shù)據(jù)處理裝置指示所述前端檢測(cè)裝置工作，接收所述數(shù)據(jù)處理裝置傳遞來(lái)的檢測(cè)數(shù)據(jù)，并進(jìn)行處理，將最終處理結(jié)果進(jìn)行顯示并存儲(chǔ)的計(jì)算機(jī)裝置，從而提供一種電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，穩(wěn)定性高，獲取數(shù)據(jù)速度快，檢測(cè)精度高的微機(jī)械傳感裝置電特性檢測(cè)分析系統(tǒng)及方法。