一種用于硅片濕法處理的花籃

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120660630.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214378364U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214378364U 申請公布日 2021-10-08
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林鵬飛;王永謙;田得雨;陳剛 申請（專利權(quán)）人 天津愛旭太陽能科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳盛德大業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張紅偉
地址 322000浙江省金華市義烏市蘇溪鎮(zhèn)好派路655號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型適用硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種用于硅片濕法處理的花籃，包括：相對間隔設(shè)置的兩個端板；連接兩個端板的第一橫桿和第二橫桿，第一橫桿和第二橫桿沿第一方向相對間隔設(shè)置，第一橫桿與第二橫桿通過沿第一方向間隔設(shè)置的多個連齒連接，相鄰兩個連齒之間形成用于放置硅片的安裝間隙；連接兩個端板、用于對放置在安裝間隙的硅片進行限位的底桿。本實用新型提供的用于硅片濕法處理的花籃通過將第一橫桿和第二橫桿利用多個連齒連接，硅片放置在用于硅片濕法處理的花籃進行濕化學處理時，相鄰硅片通過連齒物理隔離，既可以防止硅片出現(xiàn)貼片現(xiàn)象，又可以控制硅片的形變量以避免硅片形變過大而導致碎片的發(fā)生，可以有效降低硅片的碎片率。