一種用于硅片濕法處理的花籃
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120660630.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214378364U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214378364U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 林鵬飛;王永謙;田得雨;陳剛 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 天津愛(ài)旭太陽(yáng)能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳盛德大業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張紅偉 |
| 地址 | 322000浙江省金華市義烏市蘇溪鎮(zhèn)好派路655號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型適用硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種用于硅片濕法處理的花籃，包括：相對(duì)間隔設(shè)置的兩個(gè)端板；連接兩個(gè)端板的第一橫桿和第二橫桿，第一橫桿和第二橫桿沿第一方向相對(duì)間隔設(shè)置，第一橫桿與第二橫桿通過(guò)沿第一方向間隔設(shè)置的多個(gè)連齒連接，相鄰兩個(gè)連齒之間形成用于放置硅片的安裝間隙；連接兩個(gè)端板、用于對(duì)放置在安裝間隙的硅片進(jìn)行限位的底桿。本實(shí)用新型提供的用于硅片濕法處理的花籃通過(guò)將第一橫桿和第二橫桿利用多個(gè)連齒連接，硅片放置在用于硅片濕法處理的花籃進(jìn)行濕化學(xué)處理時(shí)，相鄰硅片通過(guò)連齒物理隔離，既可以防止硅片出現(xiàn)貼片現(xiàn)象，又可以控制硅片的形變量以避免硅片形變過(guò)大而導(dǎo)致碎片的發(fā)生，可以有效降低硅片的碎片率。 |
