一種高純鎵容器的清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210389613.X 申請日 -
公開(公告)號 CN102873047A 公開(公告)日 2013-01-16
申請公布號 CN102873047A 申請公布日 2013-01-16
分類號 B08B3/04(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/10(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 康云飛;喬文;鐘曉露 申請(專利權)人 廣西德保鎵業(yè)有限公司
代理機構 北京嘉予銘知識產權代理有限責任公司 代理人 南京隆潤半導體材料有限公司;廣西德保鎵業(yè)有限公司
地址 314500 浙江省嘉興市桐鄉(xiāng)市梧桐街道新民北路678號-15
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高純鎵容器的清洗方法,其特征在于包括以下步驟:(1)將高純水加熱至60℃-80℃,浸泡容器15-25分鐘,搖床震蕩,使得鎵融化成為液態(tài),此時有少量的液態(tài)鎵會從容器上脫離;(2)用電子純的強堿性的無機堿溶液,加熱至60℃-80℃,浸泡容器5-15分鐘,同時震蕩10-15分鐘;(3)用高純水沖洗已經沒有粘附鎵的容器;(4)用電子純的強酸性的無機酸溶液,將已經沖洗好的容器全部浸沒在容器中0.5-2分鐘;(5)用高純水再次沖洗容器;(6)將容器干燥備用。本發(fā)明回收了高純鎵,節(jié)省了生產成本;簡單易行;實現了容器的徹底清洗,使得容器可以循環(huán)使用。